Aktuell im Sommersemester 2014
| Vorlesung | Vakuumtechnologie in der Halbleiterindustrie |
| Datum | ab 14.04.2014 |
| Uhrzeit |
10:15 - 11:45 Uhr (Vortrag) |
| 12:00 - 12:45 Uhr (Übung) | |
| Ort |
Raum D113 |
| Inhalt | 1. Vakuumphysik und -technik |
| 1.1 Geschichte der Vakuumtechnik | |
| 1.2 Industrielle Anwendungsbereiche der Vakuumtechnik | |
| 1.3 Grundlagen der Vakuumphysik | |
| 1.3.1 Gasgesetze und kinetische Gastheorie | |
| 1.3.2 Strömung von Gasen | |
| 1.3.3 Sorption und Desorption | |
| 1.4 Vakuumerzeugung (Pumpenarten) | |
| 1.4.1 Grob- und Feinvakuum | |
| 1.4.2 Hochvakuum | |
| 1.5 Vakuummessmethoden | |
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1.5.1 Vakuummessgeräte für Totaldruck |
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| 1.5.2 Partialdruckmessgeräte und Leck-Detektoren | |
| 2. Vakuumtechnologien | |
| 2.1 Vakuumwerkstoffe und Konstruktionsprinzipien |