Arbeitsplatz am Konfokalmikroskop MarSurf CM Explorer
- Punktlichtquelle
- Fokusebene
- Objektiv
- Strahlteiler
- Tubuslinse
- Blende (Pinhole)
- Detektor
Mit dem KFM können Oberflächen kontaktlos anstatt taktil vermessen werden. Dabei beträgt die Auflösung:
- Lateral ca. 360 nm
- Tiefenprofil ca. 20 nm
Es sind zahlreiche Rauheitsanalysen nach ISO 21920, 4287, etc. möglich.
Auch Schichtdicken an transparenten Materialien können u.U. gemessen werden.
Als Proben kommen sowohl Metalle, Keramiken als auch Gläser und Schichtsysteme in Frage.