Die Methode:
(EDX= Energy Dispersive X-Ray Analysis)
Verfahren zur Bestimmung der Elementzusammensetzung von Proben in Kombination mit einem Rasterelektronenmikroskop; beruht auf der Auswertung der durch den Elektronenstrahl in der Probe hervorgerufenen Röntgenstrahlung, die je nach Element charakteristische Röntgenlinien enthält.
Durch die Kombination mit einem REM lassen sich mikroskopisch kleine Probenbereiche (bis ca. 1 Mikrometer) gezielt untersuchen. Außerdem ist eine Quantifizierung, d.h. eine Berechnung der Elementkonzentrationen und eine flächige Darstellung von Elementverteilungen an einer Probenoberfläche möglich.
Unsere Geräteausstattung:
(EDX) der Fa. Bruker-Nano (xflash 6/30)
Am DSM982 Zeiss-Gemini:
Bruker EDX XFlash6/30 mit Partikelanlayse.
Außerdem im Bild: Cryo-Transfereinheit Gatan-Alto2500 (links im Bild) sowie dem bis 2022 genutztem Kathodolumineszenz-Detektorsystem (rechts im Bild). Seit Anfang 2023 ist dies ersetzt durch das Kathodolumineszenz-System "Sparc" von der Fa.Delmic.
- Röntgenmikroanalysesystem (EDX) der Fa. Bruker-Nano (xflash 6/30)am FE-REM "LEO982-Gemini"
- Mapping (HyperMap) und Partikelanalyse
- Linescan für qualitative und quantitative Analyse
- Hochauflösender Highspeed SDD-Detektor
- Leichtelement- XFlash-Detektor 6/30 mit Energieauflösung <126 eV (Mn Ka)
- < 52 eV C Ka, 60 eV F Ka
- Röntgenmikroanalysesystem (EDX) der Fa. Oxford (AZtecEnergy Advanced) am REM DSM960
o Mapping, Linescan, Linien u. Gitterspektren
o Berechnung von therotischen Spektren
o Energieauflösung < 130 eV (Mn Ka)
o Softwarepaket AztecEnergy-Advanced und INCA-Energy
- Röntgenmikroanalysesystem (EDX) der Fa. EDAX (EDAX-DX4) am TEM CM12
Beispiel: EDX - Analyse einer Lackierungsstörung
EDX-Spektren einer Lackierung mit dem Füllstoff Bariumsulfat (rot) und der Lackschicht mit Farbpigment (TiO2) und Silikaten (blau). Aufgenommen mit SDD-Detektor.