Das Mastermodul Halbleitertechnologie ist eine einsemestrige Wahlveranstaltung mit einem Umfang von vier Semesterwochenstunden, das in den Masterstudiengängen Elektrotechnik und Informatik angeboten wird.

Inhalt

  1. Kristallziehverfahren und Herstellung von Wafern
  2. Oxidationsverfahren
  3. Lithographie
  4. Ätzverfahren
  5. Legierung und Diffusion
  6. Ionenimplantation
  7. CVD-Depositionsverfahren
  8. Epitaxie
  9. Physikalische Depositionsverfahren
  10. MOS- und CMOS-Prozesse

Das Modul wird wieder im Sommersemester 2021 angeboten. Die Veranstaltung startet voraussichtlich im April 2021. Die Anmeldung erfolgt per E-Mail über Frau Bertels.



Online Unterlagen zur Veranstaltung:

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